| FSZ-P50激光划片机系列设备,工作光源采用YAG激光器和声光调制系统、数控X/Y工作台,步进电机驱动,在电脑控制下精确运动,专用控制软件使程序的编辑和修改简单方便,并实时显示运动轨迹,工作台采用双气仓负压吸附系统,T型结构双工作位交替工作。
系统采用国际流行的模块化设计,关键部件均采用进口产品。整机结构合理、划片速度快、精度高、功能全、操作简单方便,能24小时长期连续工作,各项性能指标稳定可靠,故障率低,加工成品率高,适用面广,在太阳能行业得到广泛的应用和用户的高度肯定。
应用范围:
太阳能行业单晶硅、多晶硅、非晶硅带太阳能电池片(cell)和硅片(wafer)的划片(切割切片)。
样品:
三、设备主要技术指标
激光工作物质:Nd3+:YAG晶体
泵浦方式:氪灯泵浦
激光波长:1064nm
激光模式:低阶模
激光输出最大功率:≥50W
激光调制方式:声光调制
激光脉冲频率:200Hz—50kHz连续可调
最大切割速度:120mm/s(7.2m/min)
划片厚度:≤1.2mm
工作台:双气仓真空吸附,T型双工位交替连续工作。
工作台幅面:350×350mm(行程320×320mm)
工作台重复精度:±10μm
单机使用电源:3Φ380V(220V)/50Hz/5kVA
四、设备整机配置
1、激光器
1.1、聚光腔体
1.2、声光晶体:英国进口
2、电源主控柜
2.1、激光电源
2.2、声光驱动电源(具有“首脉冲抑制”功能)
2.3、主控电源及保护系统
2.4、工作台驱动系统
2.5、计算机及显示器
2.6、专用控制软件(工作界面友好,编程简单方便,运动轨迹实时显示)
3、冷却水循环系统(置于激光器支架内)
3.1、去离子水或纯净水循环
3.2、水泵
3.3、过滤树脂
4、制冷系统(外挂式压缩机制冷)
5、工作台
5.1、驱动
5.2、滚珠丝杠
5.3、矩型导轨
5.4、连轴器
5.5、真空吸附系统(带脚踏控制)
5.6、除尘系统 |